電子十萬級(jí)無塵車間建設(shè)要求

所謂半導(dǎo)體電子潔凈車間，指的是潔凈度在10萬級(jí)標(biāo)準(zhǔn)以上的車間，主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數(shù)計(jì)算。根據(jù)潔凈度不同分為100級(jí)（小于3.5個(gè)），1000級(jí)（小于35個(gè)），10000級(jí)（小于350個(gè)），100000級(jí)（小于3500個(gè)）。

潔凈度等級(jí)要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控，另外該類潔凈室對(duì)靜電要求極其嚴(yán)格。其中對(duì)濕度的要求尤甚。因?yàn)檫^于干燥的廠房?jī)?nèi)極易產(chǎn)生靜電，造成CMOS集成損壞。一般來說，電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對(duì)濕度控制在50-60%之間（特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定）。這時(shí)可有效地消除靜電，并使人也感覺舒適。芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分，由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格，主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象，同時(shí)還對(duì)其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。

電子制造廠萬級(jí)潔凈室內(nèi)的噪聲級(jí)（空態(tài)）：不應(yīng)大于65dB(A)

電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%，水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%，否則就是局部單向流了。

電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa

電子制造行業(yè)萬級(jí)潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的值：補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器，應(yīng)設(shè)置新風(fēng)，超溫?cái)嚯姳Ｗo(hù)，若采用點(diǎn)加濕時(shí)應(yīng)設(shè)置無水保護(hù)，寒冷地區(qū)，新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。無塵室的送風(fēng)量，應(yīng)取下面三項(xiàng)值：

保證電子制造廠無塵室空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量；

根據(jù)熱，濕負(fù)荷計(jì)算確定電子廠潔凈室的送風(fēng)量；

向電子制造廠潔凈室內(nèi)供給的新鮮空氣量；

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